产品详情
全光谱椭圆偏光测厚仪
型号:SE

 

 

  • 第一台国人自行开发
  • 波长范围:360nm-950nm
  • 快速量测:<6Sec
  • 全自动量测(Recipe Driver)
  • 精密量测膜厚及折射率(反射率:option)
  • 各种功能的光学常数量测和光谱特性分析
  • 椭偏参数精度:±0.01 for Tan(φ)±0.01 for Cos (Δ)
  • 可直接量测镀膜在透明基板,而无需在基板背面打毛及染黑(ITO on Glass、SiN on Glass)
脚注信息
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